振动传感器

硅微加速度计是一种最有发展前景的微结构加速度计，在国内外应用广泛。它的作用原理是基于经典的牛顿力学定律，当传感器感受加速度时，检测质量反向移动，于是形成电容的变化，该信号解调后反馈给加力电级，产生静电反馈力用来平衡检测质量的惯性力，利用此反馈力所对应的输出电压作为对加速度的测量。