MEMS加速度计 EAM1010系列(±0.5~±30g)

EAM1010 / EAM1010 GK系列是一款全国产电容式MEMS小量程加速度计。该产品具有优秀的零偏温度系数、标度温度系数，同时还提供标度因数补偿接口以获得更好的稳定性；具有敏感轴为Z轴、高分辨率、全国产化等特点；广泛适用于高精度倾角测量、设备健康与预测性维护、稳定平台、调平系统领域。该产品采用28管脚陶瓷基板（或管壳）单芯片封装，具有良好的抗电磁干扰能力。

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MEMS加速度计

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产品介绍

产品特点

低噪声	高分辨率	高灵敏	极低零偏	低频性能优异
高带宽	全温稳定	标度线性优异

应用领域

倾角测量	惯性导航	运动感知	仪器调平	姿态测量
设备健康监测	主动安全与反馈控制

产品性能指标

型号	EAM1010系列(±0.5~±2g)
量程(g)	±0.5	±1	±2
标度因数(mV/g)	4000±0.3%	2000±0.3%	1000±1%
零位输出(V)	2.5±0.02	2.5±0.01	2.5±0.005
噪声谱密度(µg√Hz)	<4(10~100Hz)	<8(10~100Hz)	<6(10~100Hz)
分辨率(mg)	<0.15
全温重复性(mg)	0.2
全温稳定性(mg)	0.2
供电电压(V)	典型5.0，10~100Hz(可支持5~3.3V)
输入电流(mA)	≤4.6
启动时间(ms)	<10
标度因数温度系数(ppm/℃)	<100(-40~+85℃)
非线性(%)	<0.1
零偏温度系数(mg/℃)	<0.3(-40~+85℃)
温度零位@25℃(V)	2.65
振动(g)	6.06(RMS，20~2kHz随机振动)
频率响应(Hz,±3dB)	0~100
谐振频率(Hz)	1400
工作温度/存储温度(℃)	-40~+85 / -40~+125
输出电压(V)	0~5
温度灵敏度(mV/℃)	-5.4
冲击(g)	500，不带电(2ms，1/2sin) / 500，不带电(0.1ms，1/2sin)
重量(g)	<0.6 / <0.5
尺寸(mm)	8×8×4.1(陶瓷基板) / 8×8×3.9(陶瓷管壳)

型号	EAM1010系列(±5~±30g)
量程(g)	±5	±10	±15	±20	±30
标度因数(mV/g)	400±1%	200±1%	133±2%	100±2%	66±2%
零位输出(mV)	2500±20	2500±20	2500±10	2500±20	2500±20
噪声谱密度(µg√Hz)(10Hz~1.5kHz)	35	42	42	50	50
分辨率(mg)	0.15	0.3		0.75
全温重复性(mg)	0.5		1
全温稳定性(mg)	0.5		1
供电电压(V)	典型5.0(可支持5~3.3V)
输入电流(mA)	≤5
启动时间(ms)	<10
标度因数温度系数(ppm/℃)	<100(-40~+85℃)
输出电压(V)	0~5
温度零位@25℃(V)	2.65
振动(g)	6.06(RMS，20~2kHz随机振动)
频率响应5%(Hz)	0~1500
谐振频率(Hz)	3700
工作温度/存储温度(℃)	-40~+85 / -40~+125
零偏温度系数(mg/℃)	<0.4(-40~+85℃)
标度因数非线性(%)	<0.1
温度灵敏度(mV/℃)	-5.4
冲击(g)	2000(不带电，0.1ms，1/2sin)
重量(g)	<0.6 / <0.5
尺寸(mm)	8×8×4.1(陶瓷基板) / 8×8×3.9(陶瓷管壳)