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MEMS加速度计 EAM1021系列(±30~±50g)
EAM1021系列为国产自研电容式MEMS加速度计，敏感轴布置于X/Y水平面。产品具备单端、差分双路模拟输出配置，适配-40℃～+85℃宽温工况。零偏稳定性、标度精度、抗交叉耦合等关键指标表现优异，综合测量性能与环境适应能力具备明显优势。
关键词：
MEMS加速度计
振动测量加速度计
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产品介绍
EAM1021系列为国产自研电容式MEMS加速度计，敏感轴布置于X/Y水平面。产品具备单端、差分双路模拟输出配置，适配-40℃～+85℃宽温工况。零偏稳定性、标度精度、抗交叉耦合等关键指标表现优异，综合测量性能与环境适应能力具备明显优势。
产品特点
- 敏感轴在X/Y水平面内
- 单端 / 差分模拟电压输出
- 外围电路简洁
- 高精度
- 高零偏性能
应用领域
- 惯性导航
- 稳定控制
- 设备健康监测
- 主动安全与反馈控制
产品性能指标
型号 EAM1021系列 量程(g) ±30 ±50 标度因数(mV/g) 66.7±2% 40±2% 标度因数重复性 (ppm) ≤50 ≤100 标度因数非线性 (%FS) ≤0.5 ≤0.6 零偏温度系数 (mg/℃) 2 5 全温零偏稳定性 (mg) 0.5 0.6 全温零偏重复性 (mg) 0.5 1.1 噪声谱密度 (ug/√Hz) ≤115@1kHz ≤130@1kHz 交叉耦合 CASXY<2% / CASXZ<1% CASXY<4.5% / CASXZ<0.8% 3dB带宽 (Hz) 5000 供电电压 (V) 5 / 3.3 工作电流 (mA) 3.4 / 1.95 输出形式 单端 / 差分 工作温度/储存温度 (℃) -40~85 / -40~125 外形尺寸 (mm) 6.2×6.2×3.6 *注意：本产品为微机械结构，严禁超声波清洗；操作全程需佩戴防静电手腕带和手套，做好 ESD 防护。
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