天羿领航MEMS真空计——杜瓦罐真空测量应用
一、杜瓦罐真空监测行业痛点
杜瓦及低温储罐依靠夹层高真空实现绝热保温,真空度直接决定设备保温效果、介质损耗及使用寿命。传统真空监测方案缺陷明显,难以满足高端低温设备长期稳定运行要求。
1、传统真空计体积大、无法内置狭小夹层,灯丝结构工作高温、易释放杂质气体,污染夹层真空、加速绝热层老化,且功耗高、增加热负载,加剧低温介质挥发。
2、传统设备量程有限,无法适配液氮、液氦、LNG等多类低温设备真空区间,难以识别微量泄漏,故障预警滞后。
3、目前高精度夹层真空传感器长期依赖进口,成本高、供货不稳,给航天、军工、精密低温装备带来供应链风险。
4、行业多采用外置离线抽检,无法24小时实时监测,只能发现严重漏气,往往出现介质大量损耗后才排查故障,造成设备不可逆损伤。
二、EVP-001 MEMS真空计核心优势

图一、MEMS真空计产品

图二、MEMS真空计敏感芯片
湖南天羿领航自研国产EVP-001MEMS真空计,测量量程1×10⁻⁴ Pa~1Pa,精准适配全品类杜瓦真空标准,凭借其微型化、高精度、可内置在线监测方案,有效解决传统设备多项痛点。
1、高精度宽量程:分辨率<1×10⁻⁴ Pa,温度漂移仅0.18%/℃,高低温工况数据稳定,可精准捕捉微量泄漏与材料放气,实现真空衰减提前预警。
2、微型可嵌入式安装:传感器芯片尺寸仅5×5×2mm,支持SMT贴片安装,可直接贴装于夹层内壁与冷屏,适配各类狭小夹层空间。
3、测量不放气,无离子产生:真空计无高温产生,材料不放气,测量过程不改变测试环境的气体组成成分,不污染夹层洁净真空环境;
4、功耗低(0.5W):相比于电离型真空计的高功耗,真空计无发热单元,功耗仅为电离型真空计的二十分之一至四十分之一;
5、国产化高稳定性:核心芯片、电路全部国产自研,打破海外垄断,供应链安全可控。设备经过精密标定,抗振动、耐宽温,可长期不间断在线监测,大幅降低运维成本。
三、杜瓦罐细分应用场景

图三、MEMS真空计应用场景
凭借微型化、高精度、无工况干扰、高稳定性优势,EVP-001可全面覆盖各类杜瓦、低温储罐夹层监测场景,完全匹配行业国标真空参数。
1. 小型液氮杜瓦(1~500L,1×10⁻¹~1×10⁻² Pa):适用于实验室与生物样本存储,可内置贴片安装、24 小时在线监测。设备支持真空超标预警,可提前补抽真空,减少液氮汽化损耗,有效降低实验室耗材与运维成本。
2. 液氦杜瓦(10~500L,1×10⁻³~1×10⁻⁴ Pa):适配航天探测、超导磁体高端液氦设备,满足小体积、低功耗、高洁净严苛要求。设备无热源、无放气,不干扰深低温工况,可长期稳定监测、预判杜瓦真空使用寿命,适配航天军工高端装备国产化配套需求。
3. 工业低温气体储罐(1k~50kL,1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁴ Pa):适配液氧、液氩、液态二氧化碳储罐,支持组网集中监测,实时识别真空衰减与微量泄漏,降低泄压频次与介质损耗。国标出厂真空≤5×10⁻³Pa,安全运行上限0.1Pa,优质工况稳定在10⁻³~10⁻⁴Pa。
4. 大型LNG储罐(1万~27万m³,1 ~ 1×10⁻⁴ Pa):可多点分布式贴片安装,解决大型储罐监测点位分散问题,精准监测全域夹层真空,识别焊缝、密封微量渗漏。适配真空粉末绝热工艺,运行上限0.1Pa,长期稳定区间10⁻²~10⁻⁴Pa,保障大型能源设备稳定运行。
5. 低温储运槽车(20~60m³,1×10⁻¹~1×10⁻² Pa):适配 LNG、液氮、液氧低温运输槽车,产品抗振动、低温漂移小,可完美适配运输颠簸、温差剧变的复杂车载工况,全程在线监测夹层真空,杜绝长途运输真空失效导致的介质大量挥发,提升储运稳定性与经济性。
6. MLI高真空容器(优于1×10⁻³ Pa):适配精密低温实验、特种制冷设备。设备无高温、零放气,不破坏洁净真空环境。行业要求夹层真空优于1×10⁻³ Pa,高端设备需稳定维持1×10⁻⁴Pa以下,可长期精准监测保障实验与设备精度。
EVP-001国产化MEMS真空计可全覆盖各类杜瓦真空监测场景,简化设备选型与供应链管理。嵌入式安装,减少泄漏点,实现真空全周期在线管控。设备可提前预警真空衰减,保护绝热结构、降低介质损耗与维护成本,彻底替代进口传感器,解决高端低温装备核心器件卡脖子问题。
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