MEMS真空计——性能及应用简介
一、引言
随着高端制造业、航空航天等领域快速发展，对真空测量的精度、响应速度及集成度要求日益严苛。真空计作为核心器件，直接决定真空控制的准确性与可靠性。当前，国内真空测量市场被英菲康、MKS等国外品牌垄断，价格高昂且供应链易受制约，影响产业自主发展，国产化真空计存在精度低、重复性较差，核心原材料依赖进口的问题。
MEMS技术为真空计小型化、高精度发展提供了新路径。湖南天羿领航科技有限公司是国内极少数同时拥有高性能MEMS惯性传感器研发、设计、制造、标定及系统集成的全产业链IDM企业。依托其完整的产业链解决方案，研发生产出了全国产化MEMS真空计，通过技术创新突破瓶颈，实现测量范围、灵敏度与小型化的协同优化，为高真空测量国产化提供新方案。
二、 EVP-001型MEMS真空计
蝶翼式真空计敏感芯片
EVP-001蝶翼式真空计产品
EVP-001是一款基于MEMS工艺研制的全国产化真空计产品，其传感器尺寸5x5mm，实现了高真空测量仪表的小型化。该产品积小，测量下限延伸到了高真空范围，灵敏度高，测量不放气且测量过程中无离子产生，具有高精度、宽量程、低功耗、重复性好的特点，可满足嵌入式测量场景以及测量仪器小型化集成需求。
三、MEMS真空计的核心性能优势及指标
该真空计凭借结构创新与工艺优化，在关键性能指标上表现突出，结合具体性能参数，其核心优势如下：
1、宽量程与高精度：
测量下限延伸至高真空范围,量程范围1×10⁻⁴Pa~1Pa，分辨率<1×10⁻⁴ Pa，具备0.18%/℃的低温度漂移特性，宽温环境下仍能保持稳定测量精度。
2、低功耗与无干扰测量：
整机功耗仅0.5W，为传统电离型真空计的1/20~1/40；同时蝶翼式真空计测量过程无离子产生、无高温产生、材料不放气，不会改变被测环境的气体组成成分，尤其适用于对环境洁净度要求极高的半导体工艺场景。
3、体积小与高集成度：
敏感单元尺寸仅5×5×2mm，支持贴片式安装与嵌入式集成，可适配小型化真空腔体、便携设备及自动化产线的紧凑安装需求，打破了传统真空计体积大、安装受限的局限。
4、全国产自主可控，打破技术垄断
该真空计实现核心芯片、测控电路及关键元器件全国产化，打破国外技术与市场垄断，更保障供应链安全，为国内高端领域提供自主可控的真空测量解决方案，具有重要战略意义。
四、应用领域
基于优异性能，该真空计可广泛应用于多个高端领域，具体场景如下：
1、 深空探测
真空计契合深空探测载荷对体积、精度与功耗的苛刻要求；
2、 真空镀膜
半导体镀膜、光伏电池制备等工艺对真空度要求严苛，该真空计可集成于相关设备，实时监测控制真空度，提升产品良率，小型化设计适配设备集成需求。
3、 杜瓦夹层
杜瓦真空夹层的真空度直接影响保温性能与寿命，该真空计可贴片安装于夹层内壁，长期稳定监测真空度，及时发现泄漏问题，保障设备可靠性。
未来，天羿领航将依托MEMS工艺与测控技术升级，进一步提升测量精度与响应速度，拓展超高真空应用，提升我国真空测量设备国产化水平，打破国外垄断，为高端制造业、国防科技等领域自主发展提供支撑。
