技术文摘
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MEMS
ASIC
洁净厂房
FAB无尘室原理及管理
‌FAB无尘室（洁净室、无尘车间）‌是半导体制造中常见的一种无尘室，也称为洁净室。FAB是Fabrication的缩写，表示半导体芯片的制造工厂。
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