技术文摘
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MEMS
ASIC
洁净厂房
FAB无尘室原理及管理
由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源，因为这些污染源可以造成元...
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