MEMS 传感器行业深度分析报告
MEMS(微机电系统)是在半导体制造技术基础上发展起来，是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，基于光刻、腐蚀等半导体技术，融入超精密机械加工，并结合材料，力学、化学、光学等，使一个毫米或微米级别的 MEMS 系统具备精确而完整的电气、机械、化学、光学等特性。
MEMS传感器详细介绍
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanicalSystem），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。你可以把它理解为利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术。
