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全国产真空计

全国产MEMS真空计专题:量程1×10⁻⁴Pa~1Pa,测量不放气、无灯丝损耗,功耗低至0.5W,敏感芯片仅5×5mm,适配LNG储罐、液氮杜瓦、低温槽车等真空在线监测场景,提供高端计量仪器国产替代方案。

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MEMS真空计 EVP-001


EVP-001是一款全国产化的真空计产品。基于MEMS工艺采用双质量块作为敏感单元,能够长时间稳定测量。测量数据实时采集屏幕可视化,直连PC上位机。真空传感器尺寸5x5mm,贴片在被测真空环境,通过引线与测控电路连接,实现了高真空测量仪表的小型化。 该产品积小,测量下限延伸到了高真空范围,灵敏度高,测量不放气且测量过程中无离子产生,具有高精度、宽量程、低功耗、重复性好的特点,可满足嵌入式测量场景以及测量仪器小型化集成需求。

天羿领航MEMS真空计——杜瓦罐真空测量应用


湖南天羿领航自研国产EVP-001MEMS真空计,测量量程1×10⁻⁴ Pa~1Pa,精准适配全品类杜瓦真空标准,凭借其微型化、高精度、可内置在线监测方案,有效解决传统设备多项痛点。

MEMS真空计——性能及应用简介


国产化真空计存在精度低、重复性较差,核心原材料依赖进口的问题。。 MEMS技术为真空计小型化、高精度发展提供了新路径。湖南天羿领航科技有限公司是国内极少数同时拥有高性能MEMS惯性传感器研发、设计、制造、标定及系统集成的全产业链IDM企业,依托其完整的产业链解决方案,研发生产出了全国产化MEMS真空计,通过技术创新突破瓶颈,实现测量范围、灵敏度与小型化的协同优化,为高真空测量国产化提供新方案。

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